[发明专利]基于超声电机的超精密大行程刀具微动进给装置

摘要

本发明提供了一种基于超声电机的超精密大行程刀具微动进给装置，超声电机是利用压电陶瓷的逆压电效应和超声振动来获得其运动和力矩的，将材料的微观变形通过机械共振放大和摩擦耦合转换成转子的宏观运动，具有低速大力矩输出、功率密度高、起停控制性好、可实现直接驱动和精确定位，超声电机与滚珠丝杠组合在一起，解决了常见的刀具位移进给中进给精度与大行程进给不能同时兼顾问题。本发明中进给采用高精度回转式超声电机与THK导程为2mm的精密滚珠丝杠，检测采用雷尼绍分辨率为5nm高精度测微头与变形系数小的铟钢光栅尺，在导向方面采用THK的直线滚珠导套与光轴保证刀具的直线进给，实现行程为150mm的高精度大行程刀具进给。

主权项

一种基于超声电机的超精密大行程刀具微动进给装置，其特征在于，包括直线滚珠导套、轴套、导向杆、滑动块、刀架框体和连接法兰一，所述导向杆的前后两端固定在刀架框体上，导向杆和刀架框体之间由连接法兰一相连接，滑动块设置在刀架框体内，滑动块两侧的通孔内安装有直线滚珠导套，两个直线滚珠导套通过轴套间隔轴向分布在导向杆上，形成滑动副。