[发明专利]一种铜锌锡硫薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201310101321.6 | 申请日： | 2013-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN103225060A | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 徐从康 | 申请（专利权）人： | 无锡舒玛天科新能源技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/24;H01L31/18;H01L31/032 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 214192 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铜锌锡硫薄膜的制备方法，该方法包括如下步骤：将沉积有钼层的衬底加热至300～400℃，调节电流至30～70mA，采用蒸镀法，蒸汽状的镀膜材料沉积在所述钼层上，得到第一层薄膜，所述第一层薄膜表面呈贫铜富锌状态；调节衬底的温度至400～600℃，调节电流至80～150mA，采用蒸镀法，沉积得到第二层薄膜，所述第二层薄膜表面呈富铜状态；调节衬底的温度为400～600℃，调节电流至20～70mA，采用蒸镀法，沉积得到第三层薄膜，所述第三层薄膜表面呈贫铜状态。本发明提供的单源三步共蒸镀法可以制造出高效率、高均匀度的薄膜，从而提高了太阳能电池的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铜锌锡硫 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种铜锌锡硫硒薄膜的制备方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：（1）将沉积有钼层的衬底加热至300～400℃，调节电流至30～70mA，采用蒸镀法，蒸汽状的镀膜材料沉积在所述钼层上，得到第一层薄膜，所述第一层薄膜表面呈贫铜富锌状态；（2）调节衬底的温度至400～600℃，调节电流至80～150mA，采用蒸镀法，沉积得到第二层薄膜，所述第二层薄膜表面呈富铜状态；（3）调节衬底的温度为400～600℃，调节电流至20～70mA，采用蒸镀法，沉积得到第三层薄膜，所述第三层薄膜表面呈贫铜状态。
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