[发明专利]顶部喷淋硅片预清洗装置有效
| 申请号： | 201310101559.9 | 申请日： | 2013-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN104070028A | 公开（公告）日： | 2014-10-01 |
| 发明（设计）人： | 刘兴翀;陈博;张凯;孟奔;林洪峰;盛雯婷;张凤鸣 | 申请（专利权）人： | 天威新能源控股有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 谢敏 |
| 地址： | 610000 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种顶部喷淋硅片预清洗装置，包括方形板（1），方形板（1）前端面纵向设置有进水孔（3），且上端面竖直设置有出水孔（2），出水孔（2）与进水孔（3）彼此连通。本发明结构简单、合理，成本低；清洗效率高，清洗更加完全、彻底，实用性强；耗水量大为降低，节约了能源，降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 顶部 喷淋 硅片 清洗 装置 | ||
【主权项】：
顶部喷淋硅片预清洗装置，包括方形板（1），其特征在于：方形板（1）前端面纵向设置有进水孔（3），且上端面竖直设置有出水孔（2），出水孔（2）与进水孔（3）彼此连通。
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