[发明专利]一种钼合金靶材的制作方法有效
| 申请号： | 201310102230.4 | 申请日： | 2013-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN103143710A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 杨国启;扈百直;孙本双;王东新;钟景明;李彬;李海军;吴红;刘创红;刘兆刚;李军义;岳坤;郑金凤;孙磊;罗丹;张丽 | 申请（专利权）人： | 宁夏东方钽业股份有限公司 |
| 主分类号： | B22F3/16 | 分类号： | B22F3/16 |
| 代理公司： | 宁夏专利服务中心 64100 | 代理人： | 赵明辉 |
| 地址： | 753000 宁夏*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种钼合金靶材的制作方法。其特点是，包括如下步骤：首先将钼粉和铌粉装入模具中混合，其中按重量计Mo粉：Nb粉=5～15：85～95，然后将模具放入烧结炉中升温至900～1100℃，保温60～180分钟，然后升温至1900～2200℃，保温60～180分钟，升温过程中通入氢气进行保护，在升温的同时开始加压，压力为1～3吨，当温度到达1850～2000℃时，升压到4～7吨，在2000～2200℃时保压4～7吨，直到保温结束，保温结束后降温降压，然后出炉脱模即得钼铌合金靶材。本发明提供了一种成本低廉，但质量等各方面能满足要求的制作钼-铌合金靶材的新方法，主要应用于平板显示器等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 制作方法 | ||
【主权项】：
一种钼合金靶材的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：首先将钼粉和铌粉装入模具中混合，其中按重量计Mo粉：Nb粉=5～15：85～95，然后将模具放入烧结炉中升温至900～1100℃，保温60～180分钟，然后升温至1900～2200℃，保温60～180分钟，升温过程中通入氢气进行保护，在升温的同时开始加压，压力为1～3吨，当温度到达1850～2000℃时，升压到4～7吨，在2000～2200℃时保压4～7吨，直到保温结束，保温结束后降温降压，然后出炉脱模即得钼铌合金靶材。
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