[发明专利]重载荷柔性支撑装置

摘要

本发明公开了一种重载荷柔性支撑装置，包括三组柔性机构，三组柔性机构支撑物镜并呈等腰三角形布置在主基板上。柔性机构包括：顶部横梁和两条侧面竖梁，顶部横梁的两端分别与对称设置的两侧面竖梁相连；顶部横梁上分别设有至少一组中心轴为Y向的第一柔性铰链和至少一组中心轴为Z向的第二柔性铰链，第一柔性铰链靠近所述顶部横梁的中心，第二柔性铰链靠近侧面竖梁；所述侧面竖梁上设有至少一组中心轴为X向的第三柔性铰链；所述第一、第二和第三柔性铰链统称为柔性铰链。物镜采用3组相同的柔性机构支撑在主基板上，使得整体前六阶模态频率低于30Hz，起到了振动隔离的作用，提高了物镜曝光的稳定性，降低因结构振动导致的成像短期误差。

主权项

一种重载荷柔性支撑装置，其特征在于，包括三组柔性机构，所述三组柔性机构支撑物镜，并呈等腰三角形布置在光刻机的主基板上；所述三组柔性机构的垂向刚度间为并联关系；所述三组柔性机构的水平向刚度间为并联关系；所述柔性机构包括：顶部横梁和两条侧面竖梁，所述顶部横梁的两端分别与对称设置的两条侧面竖梁相连；所述顶部横梁上至少设有一组中心轴为Y向的第一柔性铰链和一组中心轴为Z向的第二柔性铰链，其中，第一柔性铰链靠近所述顶部横梁的中心，第二柔性铰链靠近侧面竖梁；所述侧面竖梁上至少设有一组中心轴为X向的第三柔性铰链；所述第一、第二和第三柔性铰链统称为柔性铰链；所述柔性铰链的刚度之间为串联关系。