[发明专利]具有热局限间隔物的存储装置及其制造方法

摘要

本发明公开了一种具有热局限间隔物的存储装置及其制造方法，该装置包括一接点阵列及一图案化绝缘层于该接点阵列之上；该图案化绝缘层包括一沟道；该沟道包括一侧壁与该阵列中的多个接点对准；多个底电极于该侧壁的较低部分而与其各自接点的上表面接触；一存储材料的热限制侧壁子形成于该图案化绝缘层与在该侧壁的较高部分的绝缘填充材料之间及与该多个底电极接触。

主权项

一种制造一存储装置的方法，包含：形成一电极材料于一侧壁特征的较低部分，该侧壁特征位于一图案化绝缘层的侧面上；形成一存储材料层于该侧壁特征的较高部分，该存储材料层具有第一侧及与该第一侧相对的第二侧，该存储材料与该电极材料的一上表面接触；将该存储材料层的该第二侧覆盖一绝缘填充材料，因此定义一存储材料限制层于该图案化绝缘层与该绝缘填充材料之间；将该存储材料限制层的一上表面裸露出来；以及形成一电极于该存储材料限制层及该绝缘填充材料之上，且与该存储材料限制层的该上表面接触。