[发明专利]连续立式双面镀膜生产线

摘要

连续立式双面镀膜生产线，有进片台、出片台、回架装置、真空室，真空室首尾端为进片室、出片室，两室间依次为首部至少两个缓冲室、至少六个镀膜室、尾部至少两个缓冲室；每个真空室内设第一独立传动装置、前侧或后侧室壁上有室门，靠近首部缓冲室的至少两个相邻镀膜室的室门、靠近尾部缓冲室的至少两个相邻镀膜室的室门分别相对错开排列；靠近首部缓冲室的至少两个相邻镀膜室中，每个镀膜室的室门的内侧、与室门相正对的另一侧室壁的内侧分别装有靶材、加热管；靠近尾部缓冲室的至少三个镀膜室中，每个镀膜室的室门的内侧、与室门相正对的另一侧室壁的内侧分别装有靶材、加热管。用本生产线，镀膜效率较高、双面镀膜玻璃的合格率较高。

主权项

连续立式双面镀膜生产线，其特征在于：它包括移动式进片台、移动式出片台、至少七个回架装置、直线排列且依次首尾相连的至少十二个真空室，首端的那个真空室为进片室，尾端的那个真空室为出片室，进片室和出片室之间的真空室依次为首部的至少两个缓冲室、至少六个镀膜室、尾部的另外至少两个缓冲室； 进片室的进片口处设有真空插板阀，出片室的出片口处设有真空插板阀，进片室与首部的相邻那个缓冲室之间、首部的每两个相邻缓冲室之间、出片室与尾部的相邻那个缓冲室之间、尾部的每两个相邻缓冲室之间均设有真空插板阀，所述至少六个镀膜室和分别位于所述至少六个镀膜室首尾两侧且相邻的那两个缓冲室相连通；每个真空室内以同一中心线排布方式设置玻璃基片装载架的第一独立传动装置，每个真空室的前侧或后侧室壁上设有一个室门，靠近首部缓冲室的至少两个相邻镀膜室的室门相对错开排列，靠近尾部缓冲室的至少两个相邻镀膜室的室门相对错开排列；所述回架装置依次首尾直线间隔排列，每个回架装置内以同一中心线排布方式设置玻璃基片装载架的第二独立传动装置，所述回架装置的中心线的连线与所述真空室的中心线的连线相平行；进片台设在进片室进片口处的真空插板阀之外且与该真空插板阀相间隔，进片台的移动轨迹线为分别垂直于所述两连线的直线，进片台的中心的移动距离等于所述两连线之间的距离；出片台设在出片室出片口处的真空插板阀之外且与该真空插板阀相间隔，出片台的移动轨迹线为分别垂直于所述两连线的直线，出片台的中心的移动距离等于所述两连线之间的距离；对于首部的至少两个缓冲室而言，每个缓冲室的室门的内侧、与所述室门相正对的另一侧室壁的内侧均装有加热管；对于靠近首部缓冲室的至少两个相邻镀膜室而言，每个镀膜室的室门的内侧、与所述室门相正对的另一侧室壁的内侧分别装有靶材、加热管；对于靠近尾部缓冲室的至少三个镀膜室而言，每个镀膜室的室门的内侧、与所述室门相正对的另一侧室壁的内侧分别装有靶材、加热管； 对于剩余的那个镀膜室而言，该镀膜室的室门的内侧、与所述室门相正对的另一侧室壁的内侧均装有加热管。