[发明专利]具多重电极的微机电装置及其制作方法有效
| 申请号： | 201310105428.8 | 申请日： | 2013-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN103879949A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 许郁文;郭秦辅;黄肇达;毛俊凯;王钦宏 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;G01L9/12;G01L9/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种具多重电极的微机电装置及其制作方法。微机电装置包含基板、第一电极、第二电极以及第三电极。该第一电极设置于该基板上，且该第二电极设置于该基板上。该第二电极包含感测部及固定部。该第三电极设置该基板上。当该第二电极的该感测部形变时，该固定部与该第三电极间具有预设固定距离。 | ||
| 搜索关键词： | 多重 电极 微机 装置 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种具多重电极的微机电装置，适用于感测气压的变化，包含：基板；第一电极，设置于该基板；第二电极，设置于该基板并包含感测部及固定部；以及第三电极，设置该基板，其中，当该感测部形变时，该固定部与该第三电极间具有预设固定距离。
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