[发明专利]输送夹具及输送保持装置有效
申请号: | 201310108807.2 | 申请日: | 2013-03-29 |
公开(公告)号: | CN103386689B | 公开(公告)日: | 2017-03-01 |
发明(设计)人: | 铃木一成 | 申请(专利权)人: | 株式会社妙德 |
主分类号: | B25J15/06 | 分类号: | B25J15/06;H01L21/683;H01L21/677 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人: | 杨黎峰,李欣 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种输送夹具及输送保持装置,能够高效地产生负压。本发明的输送夹具(10)包括板材(18)、喷出口(50)以及流体供给路径(24),所述喷出口(50)具有形成在所述板材(18)的表面(32B)上的圆形孔(52);与圆形孔(52)连通并与所述圆形孔(52)同轴地形成,并且直径比圆形孔(52)大的流体导入圆孔(54);以及形成在所述流体导入圆孔(54)的内周壁(54A)并向流体导入圆孔(54A)的大致切线方向导入流体的流入口(56),所述流体供给路径(24)形成在板材(18)上并向流入口(56)供给流体。 | ||
搜索关键词: | 输送 夹具 保持 装置 | ||
【主权项】:
一种输送夹具,其特征在于,包括:板材;喷出口,所述喷出口具有:形成在板材表面的圆形孔;与所述圆形孔连通并与所述圆形孔同轴地形成,并且直径比所述圆形孔的直径大的流体导入圆孔;连结所述圆形孔的内周壁和所述流体导入圆孔的内周壁,并且与所述板材表面平行的台阶面;以及形成在所述流体导入圆孔的内周壁并向所述流体导入圆孔的大致切线方向导入流体的流入口,其中,大致切线方向是指,与以所述流体导入圆孔的轴心为中心的圆的切线方向保持10度以下的角度的方向;以及流体供给路径,所述流体供给路径形成在所述板材上,并向所述流入口供给流体,所述流入口的高度等于所述流体导入圆孔的内周壁的高度。
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