[发明专利]石墨烯制备系统及方法

摘要

本发明披露一种石墨烯制备系统及方法，相异于现有技术利用单一供气循环来对工件进行各气体的输送，本发明提出了一种在沉积过程中，通过间断式重复调整输入气体的输入量，以多循环供气来有效降低石墨烯的片电阻值的方法。

主权项

一种石墨烯制备系统，用以在工件的表面产生石墨烯结构，其包含有：炉体，具有工作腔以供该工件设置于其中；第一气源，与该工作腔连接并对该工作腔供给第一气体；第一控制阀，设置于该工作腔及该第一气源之间；第二气源，与该工作腔连接并对该工作腔供给第二气体；第二控制阀，设置于该工作腔及该第二气源之间；第三气源，与该工作腔连接并对该工作腔供给第三气体；第三控制阀，设置于该工作腔及该第三气源之间；以及控制装置，与该第一控制阀、该第二控制阀及该第三控制阀耦接，储存有相对应于第一程序、第二程序及第三程序的程序资料，该第一程序、该第二程序及该第三程序之中任一者按序地包含有第一指令、第二指令、第三指令及第四指令，该第一指令为增加相对应的该控制阀的流通量，该第二指令为减少相对应的该控制阀的流通量，该第三指令为增加相对应的该控制阀的流通量，该第四指令为减少相对应的该控制阀的流通量；其中，在应用时，该控制装置根据该程序资料来以该第一程序、该第二程序及该第三程序分别地控制该第一控制阀，该第二控制阀或该第三控制阀以对其流通量进行控制，以使该第一气体进入该工作腔并受热裂解并于该工件的表面形成该石墨烯结构。