[发明专利]一种测量材料耐烧蚀特性的装置

摘要

本发明涉及核聚变领域，公开了一种测量材料耐烧蚀特性的装置包括：真空系统、激光烧蚀系统、激光诱导击穿光谱（LIBS）测量系统、石英晶体微天平（QCM）测量系统。本发明基于激光烧蚀技术、LIBS技术、QCM测膜厚技术，作为离子枪轰击测量的补充，利用激光烧蚀的方法评估材料的耐烧蚀特性，能够得出材料各个组成成分的烧蚀率，为评估已使用的和寻找更适合托卡马克稳定运行的第一壁材料提供一种可行的检测手段。

主权项

一种测量材料耐烧蚀特性的装置，其特征在于，所述一种测量材料耐烧蚀特性的装置包括：真空系统、激光烧蚀系统、LIBS测量系统、石英晶体微天平测量系统；所述真空系统包括：真空室（1）、真空泵组（11）、真空规（14）；真空泵组（11）和真空规（14）安装在真空室（1）外端；所述激光烧蚀系统包括：脉冲激光器（4）、电动二维平台（6）、样品夹具（7）、第一聚焦透镜（10）；待测样品放置于样品夹具（7）上，将样品夹具（7）固定于电动二维平台（6）上，并放置在真空室（1）中；第一聚焦透镜（10）放置在真空室（1）内且与真空室（1）的第一石英窗口（12）相对应；脉冲激光器（4）位于真空室（1）外部；所述LIBS测量系统包括：光纤光谱仪（2）、第二聚焦透镜（16）、光纤（13）、计算机（15）；所述第二聚焦透镜（16）放置在真空室（1）内且与真空室（1）的第二石英窗口（17）相对应；所述光纤光谱仪（2）通过光纤（13）采集LIBS光谱；所述计算机（15）分别与脉冲激光器（4）、光纤光谱仪（2）线路连接；所述石英晶体微天平测量系统包括：石英晶体膜厚监测仪（3）、振荡器（5）、石英晶体传感器（9）、石英晶体（18）；石英晶体（18）固定于石英晶体传感器（9）上，并与电动二维平台（6）上的样品对应放置在真空室（1）中；通过可用于真空室的电缆将石英晶体传感器（9）与振荡器（5）连接；用BNC电缆将振荡器（5）与石英晶体膜厚监测仪（3）连接，所述石英晶体膜厚监测仪（3）与计算机（15）线路连接。