[发明专利]一种改善高压器件晶体管漏电的方法

摘要

本发明提供一种改善高压器件晶体管漏电的方法。该方法包括形成高压器件晶体管的前段器件的步骤，在形成的前段器件上进行金属互连的步骤，其中进行金属互连的步骤包括BPSG沉积的步骤，在BPSG沉积之后进行快速热退火（RTA）高温退火的步骤，在高温退火步骤之后进行PE TEOS沉积的步骤。本发明由于在BPSG沉积步骤之后进行了高温退火步骤，可以有效去除BPSG中的水气，从而防止水气向器件中的扩散，避免了因水气的扩散而造成的器件漏电。

主权项

一种改善高压器件晶体管漏电的方法，其包括如下步骤：形成高压器件晶体管前段器件的步骤；对形成的器件进行金属互连的步骤，其中该金属互连的步骤包括：含硼磷的二氧化硅（BPSG）沉积的步骤；在含硼磷的二氧化硅（BPSG）沉积之后进行快速热退火（RTA）高温退火的步骤；在高温退火步骤之后进行等离子增强正硅酸乙酯（PE TEOS）沉积的步骤。