[发明专利]PCB曝光机的纠偏均分对位方法有效
申请号: | 201310114799.2 | 申请日: | 2013-04-03 |
公开(公告)号: | CN103217876A | 公开(公告)日: | 2013-07-24 |
发明(设计)人: | 张方德;王玉璋;贺兴志;钟靖 | 申请(专利权)人: | 浙江欧视达科技有限公司 |
主分类号: | G03F9/00 | 分类号: | G03F9/00 |
代理公司: | 温州金瓯专利事务所(普通合伙) 33237 | 代理人: | 黄肇平 |
地址: | 325000 浙江省温州市高新技*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: |
本发明提供一种PCB曝光机的纠偏均分对位方法,其包括区中心点坐标、求偏移距离值d、建立数据模型、利用序列二次规划算法求得对位靶标点的x方向的偏移量x1、y方向的偏移量y1、偏移角度 |
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搜索关键词: | pcb 曝光 纠偏 均分 对位 方法 | ||
【主权项】:
1.一种PCB曝光机的纠偏均分对位方法,其特征在于:所述纠偏均分对位方法步骤包括:利用CCD成像技术,得到上、下菲林的对位靶标点的中心点坐标;利用CCD成像技术,通过对上、下菲林得到的对位靶标点的中心点坐标进行距离计算,分别得出上、下菲林的四个对位靶标点的偏移距离值d;建立数据模型,设定对位靶标点的坐标为(x,y),偏移角度为
,x1为x方向的偏移量,y1为y方向的偏移量,(xi,yi)为经过矩阵变化后的对位靶标点的坐标,根据公式:
利用序列二次规划算法求得对位靶标点的x方向的偏移量x1、y方向的偏移量y1、偏移角度
,其中p为靶标点;根据公式![]()
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对上一步得出的对位靶标点的x方向的偏移量x1和y方向的偏移量y1进行校正,得到最终的对位靶标点的x方向的偏移量tx、y方向的偏移量ty、偏移角度
,驱动PCB曝光机的对位装置沿x方向移动tx,沿y方向移动ty,按照偏移角度
旋转;根据最终的对位靶标点的x方向的偏移量tx、y方向的偏移量ty、偏移角度
,根据公式
求得最终变化后的坐标,并跟偏移后的实际位置进行坐标验证。
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