[发明专利]极紫外光刻光源收集镜污染测量装置有效
| 申请号： | 201310116086.X | 申请日： | 2013-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN103234913A | 公开（公告）日： | 2013-08-07 |
| 发明（设计）人： | 朱玲琳;张运波;陈明星;曾爱军;黄惠杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种极紫外光刻光源收集镜污染测量装置，该装置包括准直激光光源、线起偏器、消偏振分光器、样品器、四分之一波片、同步移相器、信号处理系统和极紫外光源收集器。本发明装置可以实时、有效地测量收集镜上的污染物。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外 光刻 光源 收集 污染 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种极紫外光刻光源收集镜污染测量装置，其特点在于，该装置包括准直激光光源（1）、线起偏器（2）、消偏振分光器（3）、样品器(4)、四分之一波片（5）、同步移相器（6）、信号处理系统（7）和极紫外光源收集器（8），其位置关系是：所述的样品器(4)由双折射薄膜层（41）、基底（42）组成，所述的双折射薄膜层的相位延迟量为90°，双折射薄膜层（41）的快轴与所述的线起偏器（2）的透振轴成45°角，所述的样品器(4)被嵌在所述的极紫外光源收集器（8）上或置于所述的极紫外光源收集器（8）的边缘，所述的准直激光光源（1）出射的准直光束依次经过所述的线起偏器（2）和所述的偏振分束器（3）后，在所述的样品器(4)的前表面和后表面分别反射形成反射光，该反射光被所述的消偏振分光器（3）的分光面反射后依次经过所述的四分之一波片（5）和所述的同步移相器（6），最后被所述的信号处理系统（7）所接收，所述的四分之一波片（5）的快轴与所述的线起偏器（2）的透振轴成45°角。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海光学精密机械研究所，未经中国科学院上海光学精密机械研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310116086.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：安全包装装置
- 下一篇：现代有轨电车整体道床混凝土浇筑用移动溜槽的使用方法
