[发明专利]提拉泡生法生长晶体的装置有效
| 申请号： | 201310116108.2 | 申请日： | 2013-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN103147121A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 陈伟超;李红军;钱小波;徐军;唐慧丽;胡克艳;王静雅;汪传勇;吴锋;唐飞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B17/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 曹芳玲;郑优丽 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种提拉泡生法生长晶体的装置，所述装置包括：夹持籽晶的复合型籽晶杆（2），所述复合型籽晶杆（2）包括可相互分离或接合的主水冷杆（19）与籽晶夹具（21），所述主水冷杆（19）和籽晶夹具（21）能够独立地上下运动和顺逆旋转运动；容纳有用于生长晶体的熔体的坩埚（11）；以及温场调节单元，所述温场调节单元包括发热体（7）、上保温罩（8）、侧保温层（3）和下保温层（10），所述上保温罩（8）位于所述坩埚（11）的上方且能够升降，所述发热体（7）位于所述坩埚（11）和侧保温层（3）之间。 | ||
| 搜索关键词： | 提拉泡生法 生长 晶体 装置 | ||
【主权项】：
一种提拉泡生法生长晶体的装置，其特征在于，包括：夹持籽晶的复合型籽晶杆（2），所述复合型籽晶杆（2）包括可相互分离或接合的主水冷杆（19）与籽晶夹具（21），所述主水冷杆（19）和籽晶夹具（21）能够独立地上下运动和顺逆旋转运动； 容纳有用于生长晶体的熔体的坩埚（11）；以及温场调节单元，所述温场调节单元包括发热体（7）、上保温罩（8）、侧保温层（3）和下保温层（10），所述上保温罩（8）位于所述坩埚（11）的上方且能够升降，所述发热体（7）位于所述坩埚（11）和侧保温层（3）之间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海硅酸盐研究所，未经中国科学院上海硅酸盐研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310116108.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
