[发明专利]传感器电路及测试微机电系统传感器的方法有效
| 申请号： | 201310119472.4 | 申请日： | 2013-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN103364593A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 约恩·奥普里斯;贾斯廷·森 | 申请（专利权）人： | 快捷半导体（苏州）有限公司;快捷半导体公司 |
| 主分类号： | G01P15/14 | 分类号： | G01P15/14;G01P21/00 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 武晨燕;张颖玲 |
| 地址： | 215021 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及传感器电路及测试微机电系统传感器的方法。一种传感器电路，包括微机电系统(MEMS)陀螺仪传感器和集成电路(IC)。该MEMS陀螺仪传感器包括第一传感电容器和第二传感电容器。该IC包括开关电路和电容测量电路，该开关电路配置成将所述第一传感电容器与所述IC的第一输入端电解耦，并且将所述第二传感电容器电耦合到所述IC的第二输入端；该电容测量电路配置成在第一电信号施加到该被解耦的第一电容元件期间测量所述MEMS陀螺仪传感器的所述第二传感电容器的电容。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 电路 测试 微机 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种传感器电路，包括：微机电系统(MEMS)陀螺仪传感器，包括第一传感电容器和第二传感电容器；以及集成电路(IC)，包括：开关电路，配置成将所述第一传感电容器与所述IC的第一输入端电解耦，并且将所述第二传感电容器电耦合到所述IC的第二输入端；以及电容测量电路，配置成在第一电信号施加到该被解耦的第一电容元件期间测量所述MEMS陀螺仪传感器的所述第二传感电容器的电容。
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