[发明专利]一种大尺寸蓝宝石晶体动态温度场制备方法无效
| 申请号： | 201310119835.4 | 申请日： | 2013-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN104073875A | 公开（公告）日： | 2014-10-01 |
| 发明（设计）人： | 万尤宝;陶翔;刘嘉;李世香 | 申请（专利权）人： | 浙江特锐新能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/14;C30B15/20;C30B29/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 314031 浙江省嘉兴市秀洲区中山西路*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种大尺寸蓝宝石晶体动态温度场制备方法，其特点是晶体生长炉的发热体由辅助发热体和主发热体组成，其中主发热体由位于坩埚底下部主发热体和壁外主发热体组成，这些发热体材质为钨丝，这三个发热体分别由相应的温度控制系统独立控制。通过对这三个发热体的功率独立调控，在晶体生长的原料熔化、放肩和等径生长过程中利用动态温度场，解决大尺寸蓝宝石晶体中微小气泡问题、放肩与等径生长对温度场需求不同造成晶体生长困难等问题。所采用的动态温度场特征是：在原料熔化时采用高轴向梯度；晶体放肩阶段在熔体熔体表面采用大径向温度梯度；晶体等径生长过程中在固液界面处采用小径向温度梯度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 蓝宝石 晶体 动态 温度场 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种大尺寸蓝宝石晶体动态温度场制备方法，其特征是晶体生长炉的发热体包括位于坩埚(1)外侧上部辅助发热体(2)和主发热体组成，其中主发热体由位于坩埚(1)底下部主发热体(3)和壁外主发热体(4)组成，这些发热体材质为钨丝。辅助发热体(2)和两个主发热体(3)和(4)分别由相应的温度控制系统独立控制功率。通过对这三个发热体的功率进行独立调控，在晶体生长的原料熔化、放肩和等径生长过程中能够实现动态温度场：在原料熔化时采用坩埚(1)底部温度高，上部温度较低的在坩埚(1)中由下到上温度由高到低的轴向梯度分布，整个坩埚(1)内温度高于熔点2050℃；晶体放肩阶段在坩埚(1)上部熔体(5)处径向温度采用大梯度分布；在晶体等径生长过程中在固液界面处径向温度采用小梯度分布。晶体在这种动态温度场中完成化料、下种放肩和等径生长过程，然后原位退火至室温，获得晶体。
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