[发明专利]一种腐蚀液及腐蚀方法有效
| 申请号： | 201310120352.6 | 申请日： | 2013-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN103205752A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 李春领;侯晓敏;刘海龙;张瑛侠;孙海燕 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
| 主分类号： | C23F1/30 | 分类号： | C23F1/30 |
| 代理公司： | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人： | 田卫平 |
| 地址： | 100015*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种腐蚀液及腐蚀方法，该腐蚀液包括硝酸或磷酸，以及缓冲剂；还包括：高锰酸根离子化合物或重铬酸根离子化合物，或者是高锰酸根离子化合物和重铬酸根离子化合物的混合物；每升腐蚀液包括：85～110g/L的硝酸、0.2～2.0g/L的缓冲剂和60～90g/L的高锰酸根离子化合物；或者每升腐蚀液包括：85～110g/L的硝酸、0.2～2.0g/L的缓冲剂和140～165g/L的重铬酸根离子化合物，该方法包括：将生长有碲镉汞薄膜的碲锌镉衬底进行机械抛光，使碲锌镉衬底剩15～25μm；然后将碲锌镉衬底放入腐蚀液中进行腐蚀，腐蚀完后用无水乙醇进行清洗得到的碲镉汞薄膜。本发明的腐蚀液能够对碲镉汞薄膜下的碲锌镉衬底进行有效的腐蚀，并且对碲镉汞薄膜的影响非常小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 腐蚀 方法 | ||
【主权项】：
一种腐蚀液，其特征在于，包括：溶解剂、缓冲剂和氧化剂；所述溶解剂为硝酸或磷酸，每升所述腐蚀液包括85～110g的硝酸或50～75g的磷酸；所述缓冲剂为乳酸或聚丙烯酸，每升所述腐蚀液包括0.2～2.0g的乳酸或4～8.0g的聚丙烯酸；所述氧化剂为高锰酸根离子化合物或重铬酸根离子化合物，每升所述腐蚀液包括60～90g的高锰酸根离子或140～165g的重铬酸根离子。
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