[发明专利]保护二极管有效
申请号: | 201310120769.2 | 申请日: | 2013-04-09 |
公开(公告)号: | CN103367402A | 公开(公告)日: | 2013-10-23 |
发明(设计)人: | 藤田光一 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | H01L29/36 | 分类号: | H01L29/36;H01L27/04 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 何欣亭;王忠忠 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明得到能够实现高输出的保护二极管。本发明的保护二极管,在P++型硅衬底(3)上横向排列地设有N型阱层(5)、P+型栅极侧扩散层(6)以及P型接地侧扩散层(7)。P+型栅极侧扩散层(6)与N型阱层(5)接合。P型接地侧扩散层(7)与P+型栅极侧扩散层(6)分离,与N型阱层(5)接合。栅极侧电极(9)连接在MOSFET(1)的栅极与P+型栅极侧扩散层(6)之间。接地电极(10)与P型接地侧扩散层(7)连接。P型接地侧扩散层(7)的杂质浓度比P+型栅极侧扩散层(6)更低。 | ||
搜索关键词: | 保护 二极管 | ||
【主权项】:
一种保护二极管,其特征在于,具备:半导体衬底;第1导电型的阱层,设在所述半导体衬底上;第2导电型的栅极侧扩散层,设在所述半导体衬底上,与所述阱层接合;第2导电型的接地侧扩散层,设在所述半导体衬底上,与所述栅极侧扩散层分离,与所述阱层接合;栅极侧电极,连接在晶体管的栅极与所述栅极侧扩散层之间;以及接地电极,与所述接地侧扩散层连接,所述接地侧扩散层的杂质浓度比所述栅极侧扩散层更低。
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