[发明专利]波长可变干涉滤波器、光滤波器装置、光模块及电子设备

摘要

本发明提供波长可变干涉滤波器、光滤波器装置、光模块以及电子设备。其中，波长可变干涉滤波器包括设置有固定反射膜及固定侧电极的固定基板，以及设置有可动反射膜及可动侧电极的可动基板，在滤波器俯视观察中，固定侧电极以及可动侧电极设置在固定反射膜及可动反射膜重合的光干涉区域的外侧，固定侧电极的内径侧边缘位于比可动侧电极的内径侧边缘更靠近光干涉区域的一侧，固定侧电极的外径侧边缘位于比可动侧电极的外径侧边缘更远离光干涉区域的一侧。

主权项

一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具有：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对设置；第一反射膜，设置在所述第一基板上；第二反射膜，设置在所述第二基板上，隔着间隙与所述第一反射膜相对；第一电极，设置在所述第一基板上；第二电极，设置在所述第二基板上，与所述第一电极相对；第一引出电极，与所述第一电极连接；以及第二引出电极，与所述第二电极连接，其中，在从基板厚度方向俯视观察所述第一基板以及所述第二基板时，所述第一电极以及所述第二电极设置在所述第一反射膜以及所述第二反射膜重合的光干涉区域的外侧，在所述俯视观察中，所述第一电极的所述光干涉区域侧的边缘位于比所述第二电极的所述光干涉区域侧的边缘更靠近所述光干涉区域的一侧，在所述俯视观察中，所述第一电极的与所述光干涉区域相反一侧的边缘位于比所述第二电极的与所述光干涉区域相反一侧的边缘更远离所述光干涉区域的一侧，在所述俯视观察中，所述第一电极具有多个第一部分电极，在所述俯视观察中，所述第一引出电极设置在与所述第二电极以及所述第二引出电极不重叠的位置，在所述俯视观察中，所述第二引出电极在与多个所述第一部分电极中的任意两个之间的区域重叠的位置与所述第二电极连接。