[发明专利]一种辅助工艺流程的实验控制系统及方法有效
| 申请号： | 201310122196.7 | 申请日： | 2013-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN103257635A | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 朱燕萍;娄晓祺;俞晓菁 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种辅助工艺流程的实验控制系统及方法，该方法包括如下步骤：于一次实验设计中预设所有实验条件；定义主流程的开始站点及结束站点，并执行本次实验的主流程；根据预设的实验条件，于主流程的中间过程利用虚拟站点进行连接，对各个预设的实验条件进行多次分批实验；依次对多次分批实验的结果进行合并，通过本发明，可在一次实验中完成所有的分批实验，减少了线上设备的切换频率，在不影响线上的工艺可控性的同时大大增加了实验的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 辅助 工艺流程 实验 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
一种辅助工艺流程的实验控制系统，至少包括：预设模组，用于于一次实验设计中预设所有实验条件；主流程执行模组，用于定义主流程的开始站点及结束站点，并执行本次实验的主流程；多次分批实验模组，据预设的实验条件，于主流程的中间过程利用虚拟站点进行连接，对预设的实验条件进行分批实验；以及合并模组，用于依次对多次分批实验的结果进行合并。
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