[发明专利]尾气回收系统及其换热器有效
| 申请号： | 201310122377.X | 申请日： | 2013-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN103212270A | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 朱建军;周礼誉;张永红 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | B01D53/00 | 分类号： | B01D53/00;F25J3/08;F25J5/00;C01C1/12;C01B3/50 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 杨林;马翠平 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制作技术，提供一种换热器，用于尾气处理，其包括尾气通道，所述尾气通道由若干条具有共同入口和出口的第一支管构成；填充有吸热流体的吸热通道，所述吸热通道包括与所述第一支管数量相当的第二支管，所述第一支管嵌套于所述第二支管内，用于所述吸热流体与尾气进行热交换。本发明还提供采用这种换热器组装的尾气回收系统。本发明不仅解决了MOCVD尾气对环境的污染问题，节省原材料消耗，降低成本，还能实现尾气零排放，促进半导体照明产品早日替代传统照明产品，实现绿色环保的目标。 | ||
| 搜索关键词： | 尾气 回收 系统 及其 换热器 | ||
【主权项】：
一种换热器，其特征在于，包括：尾气通道，所述尾气通道由若干条具有共同入口和出口的第一支管构成；填充有吸热流体的吸热通道，所述吸热通道包括与所述第一支管数量相当的第二支管，所述第一支管嵌套于所述第二支管内，用于所述吸热流体与尾气进行热交换。
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