[发明专利]一种用于超小绒面高效太阳电池的电极结构的制备方法

摘要

本发明公开了一种用于超小绒面高效太阳电池的电极结构的制备方法，包括：清洗硅衬底；在硅衬底表面制备超小绒面；对硅衬底进行淡磷扩散；在淡磷扩散后的硅衬底表面沉积一层Si3N4减反射膜；对硅衬底表面的超小绒面进行激光烧蚀，形成栅线电极的沟槽；对激光烧蚀区进行清洗，除去激光烧蚀区堆积物及激光烧蚀时造成的损伤层；对激光烧蚀区进行二次浓磷扩散；以及丝网印刷机在激光烧蚀区内采用精确对准方式印刷栅线电极。本发明制备的电极结构，具有超低的遮光率和高效的陷光能力，应用在晶硅太阳电池上，电流密度高，可增加对基区光生电子的收集，降低浓磷区电阻功耗和栅线电极与衬底的接触电阻功耗，提高了电池的开路电压。

主权项

一种用于超小绒面高效太阳电池的电极结构的制备方法，其特征在于，包括：清洗硅衬底；在硅衬底表面制备超小绒面；从制备有超小绒面的硅衬底表面对硅衬底进行淡磷扩散；在淡磷扩散后的硅衬底表面沉积一层Si3N4减反射膜；利用激光烧蚀方法对硅衬底表面的超小绒面进行激光烧蚀，形成栅线电极的沟槽；利用化学清洗方法对激光烧蚀区进行清洗，除去激光烧蚀区堆积物及激光烧蚀时造成的损伤层；对激光烧蚀区进行二次浓磷扩散；以及丝网印刷机在激光烧蚀区内采用精确对准方式印刷栅线电极。