[发明专利]一种超小绒面太阳电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种超小绒面太阳电池及其制备方法，该方法包括：清洗硅衬底；在硅衬底表面生长金属镍薄膜；对表面具有金属镍薄膜的硅衬底进行退火，使得金属镍薄膜形成密集排列的镍纳米颗粒；将形成镍纳米颗粒的硅衬底放入HF/H2O2混合溶液中腐蚀，形成超小绒面，并清洗去除镍纳米颗粒；对具有超小绒面的硅衬底进行扩散、清洗和刻边，在超小绒面之下的硅衬底内部形成PN结；在硅衬底具有超小绒面的表面依次生长氧化硅和氮化硅，形成叠层钝化；采用丝网印刷来完成前后电极的制作。本发明采用镍作为诱导金属，代替传统的金、银、铂等贵重金属，极大地降低了成本，镍相对容易去除，同时在硅中造成的杂质复合影响小于银等重金属，有利于提高电池效率。

主权项

一种制备超小绒面太阳电池的方法，其特征在于，包括：清洗硅衬底；在硅衬底表面生长金属镍薄膜；对表面具有金属镍薄膜的硅衬底进行退火，使得金属镍薄膜形成密集排列的镍纳米颗粒；将形成镍纳米颗粒的硅衬底放入HF/H2O2混合溶液中腐蚀，形成超小绒面，并清洗去除镍纳米颗粒；对具有超小绒面的硅衬底进行扩散、清洗和刻边，在超小绒面之下的硅衬底内部形成PN结；在硅衬底具有超小绒面的表面依次生长氧化硅和氮化硅，形成叠层钝化；以及采用丝网印刷来完成前后电极的制作，最后烧结完成电池制备。