[发明专利]一种基于龟裂模板法制备多孔金属薄膜透明导电电极的方法有效
| 申请号： | 201310122824.1 | 申请日： | 2013-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN103227240A | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 高进伟;韩兵;裴颗;王洋 | 申请（专利权）人： | 华南师范大学 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 宣国华 |
| 地址： | 510006 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种基于龟裂模板法制备多孔金属薄膜透明导电电极的方法，包括以下步骤：(1)合成龟裂液以钛酸四丁酯为原料，合成微晶化二氧化钛溶胶，即得龟裂液；(2)制作龟裂模板将龟裂液采用旋涂法或提拉法在衬底上均匀沉积一层龟裂薄膜，并控制温度条件，使龟裂薄膜自然龟裂形成龟裂模板；(3)金属薄膜沉积采用磁控溅射方式在龟裂模板上沉积致密的金属薄膜；(4)去除龟裂模板将衬底上的龟裂模板去除，并清理表面，在衬底上形成多孔金属薄膜透明电极。该方法制备的透明导电电极具有优异的光电性能和较强机械和环境稳定性，且制备工艺简单，资源消耗低，不仅是传统金属氧化物电极的有利替代者，而且能提高太阳能电池效率和降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 龟裂 模板 法制 多孔 金属 薄膜 透明 导电 电极 方法 | ||
【主权项】：
一种基于龟裂模板法制备多孔金属薄膜透明导电电极的方法，其特征是：包括以下步骤：(1) 合成龟裂液 以钛酸四丁酯为原料，合成微晶化二氧化钛溶胶，即得龟裂液；(2) 制作龟裂模板 将龟裂液采用旋涂法或提拉法在衬底上均匀沉积一层龟裂薄膜，并控制温度条件，使龟裂薄膜自然龟裂形成龟裂模板；(3) 金属薄膜沉积 采用磁控溅射方式在龟裂模板上沉积致密的金属薄膜；(4) 去除龟裂模板 将衬底上的龟裂模板去除，并清理表面，在衬底上形成多孔金属薄膜透明导电电极。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华南师范大学，未经华南师范大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310122824.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
