[发明专利]改良的承载头薄膜有效
| 申请号： | 201310123320.1 | 申请日： | 2009-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN103252711A | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 荣·珍·派克;梅尔文·巴任提恩;阿比吉特·Y·德赛;哈伊·源;阿施施·布特那格尔;拉伊库马尔·阿拉格尔萨米 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及改良的承载头薄膜并提出用于平坦化基底的方法及设备。提出具有改良的外罩的基底承载头以牢固地握持基底。外罩可具有珠部，其尺寸大于与其进行配适的凹部，从而通过压缩力在凹部内形成共形的密封。珠部亦可不经涂覆，以加强珠部与沟槽表面的附着力。可将外罩表面粗糙化，以降低基底对外罩的附着力，而不需使用不粘黏涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 改良 承载 薄膜 | ||
【主权项】：
一种用于基底承载头的薄膜，所述薄膜包括：安装表面，用于与基底接合；周围部，从所述安装表面延伸；珠部，从所述周围部延伸；以及不粘黏涂层，覆盖住所述薄膜的一部分以形成涂覆部与未涂覆部，其中，所述未涂覆部包含所述珠部。
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