[发明专利]结合氧化锌纳米线的硅超小绒面太阳电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种结合氧化锌纳米线的硅超小绒面太阳电池及其制备方法，该硅超小绒面太阳电池包括：表面具有纳米柱结构的硅衬底；腐蚀该硅衬底的纳米柱结构形成的纳米超小绒面结构；对该具有纳米超小绒面结构的硅衬底进行扩散、清洗和刻边形成的PN结；在该硅衬底具有纳米超小绒面结构的表面形成的钝化层；在该钝化层上形成的叠层钝化层；在该叠层钝化层形成的氧化锌纳米线阵列；以及前电极和背电极。本发明将氧化锌纳米线阵列生长在硅纳米超小绒面上，利用硅纳米超小绒面的减反和陷光能力，提高电池对入射光的吸收和利用，并利用氧化锌纳米线的压电效应和导电性，克服了超小绒面电池存在的表面复合较大，电极接触不良等缺陷。

主权项

一种结合氧化锌纳米线的硅超小绒面太阳电池，其特征在于，包括：表面具有纳米柱结构的硅衬底；腐蚀该硅衬底的纳米柱结构形成的纳米超小绒面结构；对该具有纳米超小绒面结构的硅衬底进行扩散、清洗和刻边形成的PN结；在该硅衬底具有纳米超小绒面结构的表面形成的钝化层；在该钝化层上形成的叠层钝化层；在该叠层钝化层形成的氧化锌纳米线阵列；形成于该氧化锌纳米线阵列上的前电极；以及形成于该硅衬底背面的背电极。