[发明专利]气体激光器的冷却组件、气体激光器及其冷却方法有效
申请号: | 201310125165.7 | 申请日: | 2013-04-11 |
公开(公告)号: | CN103378536A | 公开(公告)日: | 2013-10-30 |
发明(设计)人: | T·贝韦尔;A·莱尔;J·多贝里施;M·蒂芬塔勒 | 申请(专利权)人: | 通快激光与系统工程有限公司 |
主分类号: | H01S3/041 | 分类号: | H01S3/041 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 侯鸣慧 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种用于冷却用于气体激光器(1)的激光器气体的冷却组件(16),包括:第一冷却回路(21),该第一冷却回路具有第一冷却机组(17)并且具有至少一个用于冷却从鼓风机(11)向气体激光器(1)的谐振腔(2)流动的激光器气体的第一热交换器(26),以及独立于第一冷却回路的第二冷却回路(22),该第二冷却回路具有第二冷却机组(18)并且具有至少一个用于冷却从谐振腔(2)向鼓风机(11)流动的激光器气体的第二热交换器(27)。在该冷却组件(16)中,所述第二冷却回路(22)具有至少一个另外的热交换器(28),用于附加地冷却从所述鼓风机(11)向所述谐振腔(2)流动的激光器气体。本发明还涉及一种具有这种冷却组件(16)的气体激光器,以及用于冷却用于气体激光器的激光器气体的对应方法。 | ||
搜索关键词: | 气体 激光器 冷却 组件 及其 方法 | ||
【主权项】:
用于冷却用于气体激光器(1)的激光器气体的冷却组件(16),包括:第一冷却回路(21),该第一冷却回路具有第一冷却机组(17)并且具有至少一个用于冷却从鼓风机(11)向气体激光器(1)的谐振腔(2)流动的激光器气体的第一热交换器(26),以及独立于第一冷却回路的第二冷却回路(22),该第二冷却回路具有第二冷却机组(18)并且具有至少一个用于冷却从谐振腔(2)向鼓风机(11)流动的激光器气体的第二热交换器(27),其特征在于,所述第二冷却回路(22)具有至少一个另外的热交换器(28),用于附加地冷却从鼓风机(11)向谐振腔(2)流动的激光器气体。
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