[发明专利]网格加密方法有效
| 申请号： | 201310125443.9 | 申请日： | 2013-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN103376669A | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 王文娟;林世杰;刘沛怡;许照荣;林本坚 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;孙征 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种网格加密方法，其中公开了用于以因子n(n＜1)减小临界尺寸(CD)光刻工艺的方法的一个实施例。该方法包括：提供具有第一像素面积S1的图案发生器以产生具有等于n2*S1的第二像素面积S2的数据网格，其中，图案发生器包括具有多个网格段的多段结构，网格段均包括第一组网格段和第二组网格段，第一组网格段均被配置为在第一方向具有偏移；以及在光刻工艺期间，在垂直于第一方向的第二方向上扫描图案发生器，使得第二组网格段均被控制为具有时延。 | ||
| 搜索关键词： | 网格 加密 方法 | ||
【主权项】：
一种以因子n减小临界尺寸(CD)的光刻工艺的方法，其中n＜1，包括：提供具有第一像素面积S1的图案发生器以产生具有等于n2*S1的第二像素面积S2的数据网格，所述图案发生器包括具有多个网格段的多段结构，所述网格段包括第一组网格段和第二组网格段，所述第一组网格均被配置为在第一方向具有偏移；以及在光刻工艺期间，在垂直于第一方向的第二方向上扫描所述图案发生器，使得所述第二组网格段均被控制为具有时延。
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