[发明专利]一种含左手材料的LED 反光镜晶体及制备方法

摘要

本发明公开了一种含左手材料的LED反光镜晶体及制备方法。结构特点包括：（1）反光镜底部为一层电流扩散层；（2）反光镜结构为一层右手材料和一层左手材料交替排列;（3）左手材料层中的空隙为渔网结构，并且填充固态增益材料，以减小损耗，增强左手材料的性能；（4）反光镜的基底材质为导电金属。制备工艺方面将电子束刻蚀、电子束蒸镀、干法刻蚀（ICP、RIE）这些精度较高的工艺结合起来制备该LED反光镜，以提高反光镜的性能。本发明LED反光镜晶体由于是左手材料和右手材料交替叠落的光子晶体结构，可以降低光强损耗，提高反射效率，从而提高LED的发光效率。

主权项

一种含左手材料的LED反光镜晶体：从上至下依次包括n‑GaN层、多量子阱有源层、p‑GaN层，其特征在于，在p‑GaN层下面设置一电流扩散层，该电流扩散层下面设置不少于三层的导电金属层，最后一层导电金属层的下面设置一键合金属层，其中，各导电金属层结合面上设置有矩形腔排布的阵列，所有矩形腔中填充固态增益材料，形成左手材料区域A，同一导电金属层中没有矩形腔阵列的平面区域为右手材料区域B，左手材料区域A与右手材料区域B交替叠落；所述各矩形腔周长为120～600nm；阵列的单位距离L1、L2不超过250nm。