[发明专利]网格加密方法有效
| 申请号： | 201310126502.4 | 申请日： | 2013-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN103376670A | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 王文娟;林世杰;刘沛怡;许照荣;林本坚 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;孙征 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供了以系数n减小临界尺寸(CD)的光刻工艺的方法的一个实施例，其中，n＜1。该方法包括：提供具有第一像素尺寸S1的图案生成器，以产生具有第二像素尺寸S2(S2＜S1)的交替数据网格，其中，图案生成器包括被配置在第一方向上彼此偏移的多个网格段；以及在垂直于所述第一方向的第二方向上扫描图案生成器，使得网格段的每个后续段被控制，以相对于网格段的在先段，网格段的每个后续段具有一个时延。 | ||
| 搜索关键词： | 网格 加密 方法 | ||
【主权项】：
一种按照系数n减小临界尺寸(CD)的光刻工艺的方法，其中n＜1，所述方法包括：提供具有第一像素尺寸S1的图案生成器，以产生具有第二像素尺寸S2的交替数据网格，S2＜S1，其中，所述图案生成器包括多个网格段，所述网格段被配置为在第一方向上彼此偏移；以及在光刻工艺过程中，在垂直于所述第一方向的第二方向上扫描所述图案生成器，以控制所述网格段的每个后续段，使得相对于所述网格段的在先段，所述网格段的每个后续段具有时延。
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