[发明专利]一种基于双稳态柔顺机构的梳齿电容精密装配方法

摘要

梳齿状电容器是MEMS器件中常用的微致动器和微传感器的结构形式。梳齿状电容器插齿间隙通常只有几微米，其正负极板之间的间隙需要精密控制。本设计提出一种基于双稳态柔顺机构的梳齿电容精密装配方法，能够提高梳齿状电容器正负极板之间间隙的精密控制，从而使批量具有相同结构的MEMS器件具有一致的、可估计的电容值，提高静电MEMS器件批量制造时性能的一致性。

主权项

一种基于双稳态柔顺机构的梳齿电容精密装配方法，该装配方法对固定梳齿和活动梳齿平面铺开装配，装配完成后，固定极板与活动极板之间具有一定的水平横向距离，其特征在于该装配方法采用包括锁定块、弹性梁、双稳态柔顺机构、支撑块、电热驱动电极、电热柔顺机构微致动器的装配装置对固定梳齿、活动梳齿进行装配；装配时电热柔顺机构微致动器推动双稳态柔顺机构移动，双稳态柔顺机构带动活动极板以及固定在活动极板上的活动梳齿向固定梳齿移动，最终将活动梳齿推入固定梳齿齿槽，锁定块锁定活动极板，实现固定梳齿与活动梳齿的交叉装配和精密定位。