[发明专利]一种扫描成像装置

摘要

本发明公开了一种扫描成像装置，通过选择椭球面的一部分作为椭球面扫描镜，并将成像目标置于椭球的第一焦点处，将探测单元的接收面置于第二焦点处，则当椭球面扫描镜对成像目标进行扫描时，最终会将成像目标的辐射光线汇聚于第二焦点处，即探测单元的接收面上，而不会因椭球面扫描镜转动或其所在系统震动导致会聚点偏移等问题，由此提高成像稳定性和成像质量；通过在椭球面上的特定位置选取椭球面扫描镜，可使得从成像目标的物平面辐射光波经椭球面扫描镜反射后入射到探测单元的接收面的入射角尽量小，根据垂直入射光波的像差最小的原理，则经过上述选择原则选取的椭球面扫描镜的像差尽量小，达到进一步提高成像质量的目的。

主权项

一种扫描成像装置，其特征在于，包括成像目标（1）、探测单元（3）和椭球面扫描镜（2），其中，所述椭球面扫描镜（2）置于成像目标（1）物平面的前方；所述椭球面扫描镜（2）所在椭球的其中一个焦点位于所述成像目标（1）的物平面上，所述椭球的另一个焦点在探测单元（3）的接收面上；保持所述成像目标（1）和所述探测单元（3）静止不动，所述椭球面扫描镜（2）可绕转轴（4）转动；所述转轴（4）过所述另一个焦点并与成像目标（1）的物平面平行。