[发明专利]一种纳米多层涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201310129525.0 | 申请日： | 2013-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN103215542A | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 洪春福;刘智勇;杨润田;钱坤明 | 申请（专利权）人： | 中国兵器科学研究院宁波分院 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 宁波诚源专利事务所有限公司 33102 | 代理人： | 袁忠卫;景丰强 |
| 地址： | 315103 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种纳米多层涂层，其特征在于该涂层至少包括沉积层，该沉积层由所包含的TiAlSiN亚层和CrAlN亚层交替沉积形成，并且，所述的TiAlSiN亚层中Si的原子含量为2～12%，所述的CrAlN亚层含有B1结构的纳米晶CrAlN显微组织。本发明还公开了该纳米多层涂层的制备方法。与现有技术相比，本发明得到纳米多层涂层具有高硬度、高韧性、高热稳定性和高抗氧化性的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 多层 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种纳米多层涂层，其特征在于该涂层至少包括沉积层，该沉积层由所包含的TiAlSiN亚层和CrAlN亚层交替沉积形成，并且，所述的TiAlSiN亚层中Si的原子含量为2～12%，所述的CrAlN亚层含有B1结构的纳米晶CrAlN显微组织。
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