[发明专利]一种采用SMA的元件级MEMS器件主动隔振器无效
| 申请号： | 201310132148.6 | 申请日： | 2013-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN103244599A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 张小勇;闫晓军 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | F16F9/30 | 分类号： | F16F9/30 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 杨学明;李新华 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种采用SMA的元件级MEMS器件主动隔振器，所述的主动隔振器由多个SMA微弹性支承（12）、带有插孔（8）的微隔振平台（13）、连接框架（4）和与之相连的多个引脚（7）组成，其中SMA微弹性支承（12）两端分别和微隔振平台（13）以及连接框架（4）相连接，需要隔振的MEMS器件通过其引脚和微隔振平台（13）上的插孔（8）相连接，其引脚信号通过4个柔性引线（9）传导到连接框架（4）的多个引脚（7）上，并通过引脚（7）和外部电路相连接。本发明提供了一种具有大阻尼、宽刚度调节范围、结构及控制系统简单的元件级MEMS器件主动隔振器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 sma 元件 mems 器件 主动 隔振器 | ||
【主权项】：
一种采用SMA的元件级MEMS器件主动隔振器，其特征在于，所述的主动隔振器由多个SMA微弹性支承（12）、带有插孔（8）的微隔振平台（13）、连接框架（4）和与之相连的多个引脚（7）组成，其中SMA微弹性支承（12）两端分别和微隔振平台（13）以及连接框架（4）相连接，需要隔振的MEMS器件通过其引脚和微隔振平台（13）上的插孔（8）相连接，其引脚信号通过4个柔性引线（9）传导到连接框架（4）的多个引脚（7）上，并通过引脚（7）和外部电路相连接；每一个SMA微弹性支承（12）两端和连接框架（4）及微隔振平台（13）连接处均是绝缘的，将SMA微弹性支承（12）分为四组，每组通过导线串联，该导线可通过印刷电路实现，四组SMA微弹性支承（12）串联完毕后会引出四组（14、15、16、17）加热引线接口，四组加热引线接口和多个引脚（7）相连接，并通过多个引脚（7）和外部电路相连接。
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