[发明专利]玻璃粉末材料以及多孔的玻璃质膜的制造方法在审

专利信息
申请号: 201310133130.8 申请日: 2013-04-17
公开(公告)号: CN103373817A 公开(公告)日: 2013-10-30
发明(设计)人: 滨田润 申请(专利权)人: 中央硝子株式会社
主分类号: C03C12/00 分类号: C03C12/00;C03C17/04;C04B41/86;C23C4/10;C23C24/08
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇;李茂家
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明涉及玻璃粉末材料以及多孔的玻璃质膜的制造方法。其目的在于,获得能够作为液晶显示器、有机EL显示器、半导体制造工艺中的基板载置台的外涂层用的玻璃粉末材料以及用于形成多孔膜的制造方法。该玻璃粉末材料的特征在于,其为选自Bi2O3系玻璃、PbO系玻璃、SiO2-B2O3-R2O系玻璃(R=Li、Na、K)、P2O5系玻璃、V2O5系玻璃以及B2O3-ZnO系玻璃所组成的组中的至少一种玻璃粉末材料,该玻璃粉末材料的平均粒径为10~30μm,最大粒径为300μm以下,通过热喷涂法或喷雾法在基板上成膜。
搜索关键词: 玻璃 粉末 材料 以及 多孔 质膜 制造 方法
【主权项】:
一种玻璃粉末材料,其特征在于,其为选自Bi2O3系玻璃、PbO系玻璃、SiO2‑B2O3‑R2O系玻璃、P2O5系玻璃、V2O5系玻璃以及B2O3‑ZnO系玻璃所组成的组中的至少一种玻璃粉末材料,其中R=Li、Na、K,该玻璃粉末材料的平均粒径为10~30μm,最大粒径为300μm以下,用于通过热喷涂法或喷雾法在基板上成膜。
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