[发明专利]可用作太阳能电池吸收层的基于黄铜矿的材料的铟溅射方法和材料

摘要

本发明公开了可用作太阳能电池吸收层的基于黄铜矿的材料的铟溅射方法和材料。一种太阳能电池包括由CIGAS(铜、铟、镓、铝和硒)形成的吸收层。提供了一种形成吸收层的方法，包括使用铟铝靶和使用溅射沉积方法沉积铟铝膜作为金属前体层。还提供了诸如CuGa层的另一些金属前体层，并且热处理操作使得金属前体层硒化。热处理操作/硒化操作将金属前体层转化成吸收层。在一些实施例中，吸收层包括基于黄铜矿的双渐变带隙。

主权项

一种形成太阳能电池的方法，所述方法包括：提供包含铟和铝的InAl靶；提供太阳能衬底，在所述太阳能衬底上具有背接触层；在所述背接触层上方形成金属前体层，包括在所述太阳能电池衬底上在所述背接触层上方溅射所述InAl靶的材料；以及热处理，从而将所述金属前体层转化成吸收层，其中，所述吸收层包括CIGAS(铜‑铟‑镓‑铝‑硒)吸收层。