[发明专利]光蚀刻用复合显影液无效
| 申请号： | 201310134759.4 | 申请日： | 2013-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN103197516A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 徐雅玲;黄源;尹云舰;罗江 | 申请（专利权）人： | 合肥格林达电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 周烽 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光蚀刻用复合显影液，主要应用于窄线宽的集成电路和高分辨率薄膜晶体管液晶显示器领域，其组成比例为：包含重量百分比为0.1-25%TMAH和0.1-25%TEAH，其余为水；TMAH与TEAH的重量比在3-5:1。本发明复合显影液可显著改善显影品质，降低图案坍塌风险，并能有效改善显影稳定性，提高显影效率。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 复合 显影液 | ||
【主权项】：
一种光蚀刻复合显影液，其特征在于，它包含重量百分比为0.1‑25%的TMAH和0.1‑25%的TEAH，其余为水；其中，TMAH与TEAH的重量比约为3‑5:1。
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