[发明专利]压力传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201310135879.6 | 申请日： | 2013-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN104066040B | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 陈建铭;黄进文;王钦宏;林靖渊;谢佑圣 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00;B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 曹玲柱 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种压力传感器及其制造方法。该压力传感器包括一基材、一介电氧化层、一第一电极层、一介电连接层以及一第二电极层。介电氧化层形成于基材上，第一电极层形成于介电氧化层上，介电连接层形成于第一电极层上，第二电极层形成于介电连接层上。第二电极层包括一图案化导电层及一介电层，图案化导电层具有多个穿孔，介电层形成于图案化导电层上且包覆该些穿孔的内壁。第一电极层、介电连接层及第二电极层定义一第一腔室于第一电极层和第二电极层之间。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器，其特征在于，包括：一基材，该基材具有一第二腔室；一介电氧化层形成于基材上；一第一电极层形成于该介电氧化层上；一介电连接层形成于该第一电极层上，其中该第一电极层具有一圆形表面以及多个开槽，该些开槽交错配置于该圆形表面的周围区域，该第一电极层的该些开槽与该第二腔室外侧的该基材重叠；以及一第二电极层形成于该介电连接层上，该第二电极层包括：一图案化导电层，具有多个穿孔，其中该些穿孔对应位于该第一电极层的该圆形表面的中间区域上方；及一介电层，形成于该图案化导电层的侧壁、顶部及底部上且包覆该些穿孔的内壁；其中，该第一电极层、该介电连接层及该第二电极层定义一第一腔室于该第一电极层和该第二电极层之间。
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