[发明专利]用于测量纳米级金属薄膜厚度的SPR相位测量装置

摘要

一种用于测量纳米级金属薄膜厚度的SPR相位测量装置，包括放置于同一光轴上的激光器、准直透镜和第一偏振片，棱镜型SPR传感器，平面反射镜，干涉系统，放置于同一光轴上的第二偏振片和CCD镜头，计算机10；所述激光器发出的激光经过所述准直透镜和所述第一偏振片后入射到所述棱镜型SPR传感器，反射光经平面反射镜反射到干涉系统后，经过所述第二偏振片由所述CCD镜头接收干涉图像，再由计算机记录获得的干涉图像。本发明有益效果是结构简单、便于操作，采用基于激光干涉的SPR相位调制方法，且在测量过程中采用同一光路对棱镜型SPR传感器的镀膜区域和非镀膜区域进行测量，抑制了由光路引入的误差，具备较高的测量精度。

主权项

一种用于测量纳米级金属薄膜厚度的SPR相位测量装置，其特征是：包括放置于同一光轴上的激光器（1）、准直透镜（2）和第一偏振片（3），棱镜型SPR传感器（5），平面反射镜（6），干涉系统（7），放置于同一光轴上的第二偏振片（8）和CCD镜头（9），计算机（10）；所述激光器（1）发出的激光经过所述准直透镜（2）和所述第一偏振片（3）后入射到所述棱镜型SPR传感器（5），反射光经所述平面反射镜（6）反射到所述干涉系统（7）后，经过所述第二偏振片（8）由所述CCD镜头（9）接收干涉图像，再由所述计算机（10）记录获得的干涉图像。