[发明专利]用于负显影的含保护羟基的光致抗蚀剂组合物和使用其的图案形成方法有效
| 申请号： | 201310140833.3 | 申请日： | 2013-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN103376660B | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | 陈光荣;黄武松;李伟健 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 陈文平 |
| 地址： | 美国纽*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及能够负显影的光致抗蚀剂组合物和利用所述光致抗蚀剂组合物的图案形成方法。所述光致抗蚀剂组合物包括成像聚合物、交联剂和辐射敏感型产酸剂。所述成像聚合物包括具有酸不稳定部分取代的羟基的单体单元。所述图案形成方法利用有机溶剂显影剂来选择性除去光致抗蚀剂组合物的光致抗蚀剂层中未曝光区域，以在光致抗蚀剂层中形成图案化的结构。所述光致抗蚀剂组合物和图案形成方法尤其可用于利用193nm(ArF)光刻法在半导体衬底上形成材料图案。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 显影 保护 羟基 光致抗蚀剂 组合 使用 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种能够负显影的光致抗蚀剂组合物，其包含成像聚合物、交联剂和辐射敏感型产酸剂，所述成像聚合物包含具有酸不稳定部分取代的羟基的单体单元，其中所述酸不稳定部分选自碳酸叔烷基酯、叔烷基醚、缩醛、缩酮和原酸酯，其中所述单体单元衍生自如下的单体：其中R2是所述酸不稳定部分。
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