[发明专利]一种反射式点衍射载波同步移相干涉检测装置及检测方法

摘要

本发明属于光学干涉检测领域，特别涉及一种反射式点衍射载波同步移相干涉检测装置及其专用的检测方法。反射式点衍射载波同步移相干涉检测装置，包括光源、准直扩束系统，第一偏振片、四分之一波片、第一透镜、非偏振分光棱镜、第二偏振片、第一平面反射镜，第二平面反射镜，第二透镜，偏振分光棱镜，第一图像传感器，第二图像传感器。本发明兼顾了CCD带宽利用率、CCD视场利用率、测量实时性、抗干扰能力和系统复杂性，使系统的整体性能有了提高；本发明结构简单，成本低，不需光栅、偏振片组等特殊光学元件；通过引入显微物镜，该方法可应用于显微测量中；本发明装置在操作中不需要改变光路操作方便灵活，稳定性高，系统复杂性低。

主权项

一种反射式点衍射载波同步移相干涉检测装置，包括光源（1）、准直扩束系统（2）、第一偏振片（3）、四分之一波片（4）、第一透镜（6）、非偏振分光棱镜（7）、第二偏振片（8）、第一平面反射镜（9）、第二平面反射镜（10）、第二透镜（11）、偏振分光棱镜（12）、第一图像传感器（13）、第二图像传感器（14），其特征在于：光源（1）发射的光束经准直扩束系统（2）后依次通过第一偏振片（3）、四分之一波片（4）和待测物体（5），经第一透镜（6）聚焦后的光束被非偏振分光棱镜（7）分成反射的物光和透射的参考光；物光经过第二偏振片（8）滤波后照射在第一平面反射镜（9）上，参考光照射在第二平面反射镜（10）上；经过反射的物光和参考光经非偏振分光棱镜（7）汇合成一束后依次通过第二透镜（11）和分光面与入射光束呈45°角的偏振分光棱镜（12）后形成两幅干涉图，分别被第一图像传感器（13）和第二图像传感器（14）采集到计算机中。