[发明专利]尖锥形氧化锌/氧化镍异质结二极管的制备方法有效
| 申请号： | 201310141917.9 | 申请日： | 2013-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN103280498A | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 袁宁一;房香;丁建宁;陈梦蛟;邱建华 | 申请（专利权）人： | 常州大学 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/24;H01L33/38 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 213164 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种异质结紫外激光二极管制备技术，特指结合镀膜技术和飞秒激光技术，制备尖锥形p-NiO/n-ZnO异质结。本发明先利用热氧化在镍片上形成NiO层，然后利用原子层沉积方法制备ZnO层，再在n-型ZnO层外利用溅射方法形成氧化铟锡(ITO)透明上电极，最后利用飞秒激光加工技术在覆盖有NiO/ZnO/ITO层的镍片上形成尖锥形阵列，即形成尖锥形p-NiO/n-ZnO异质结，在镍片底部和ITO上加上电压，即可实现电致发光。 | ||
| 搜索关键词： | 锥形 氧化锌 氧化 镍异质结 二极管 制备 方法 | ||
【主权项】：
尖锥形氧化锌/氧化镍异质结二极管的制备方法，其特征在于：先利用热氧化在镍片上形成NiO层，然后利用原子层沉积方法制备ZnO层，再在n‑型ZnO层外利用溅射方法形成氧化铟锡透明上电极，最后利用飞秒激光加工技术在覆盖有NiO/ZnO/ ITO层的镍片上形成尖锥形阵列，即形成尖锥形p‑NiO/n‑ZnO异质结，在镍片底部和ITO上加上电压，即可实现电致发光。
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