[发明专利]叠层太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明提供了一种叠层太阳能电池的制备方法，该制备方法包括以下步骤：提供衬底，在所述衬底上形成前电极；在所述前电极依次形成第一P型掺杂层、第一本征层以及第一N型掺杂层，构成第一P-I-N结；对所述第一P-I-N结的表面进行等离子体氧化处理，以形成氧化层；在所述氧化层上依次形成第二P型掺杂层、第二本征层以及第二N型掺杂层，构成第二P-I-N结；在所述第二P-I-N结上形成背电极。相应地，本发明还提供了一种叠层太阳能电池结构。本发明可以有效地提高叠层太阳能电池的转换效率，且工艺简单、成本低廉、能够与现有技术中叠层太阳能电池的生产设备相兼容。

主权项

一种叠层太阳能电池的制备方法，该制备方法包括以下步骤：提供衬底（100），在所述衬底（100）上形成前电极（110）；在所述前电极（110）上依次形成第一P型掺杂层（120a）、第一本征层（120b）以及第一N型掺杂层（120c），构成第一P‑I‑N结（120）；对所述第一P‑I‑N结（120）的表面进行等离子体氧化处理，形成氧化层（130）；在所述氧化层（130）上依次形成第二P型掺杂层（140a）、第二本征层（140b）以及第二N型掺杂层（140c），构成第二P‑I‑N结（140）；在所述第二P‑I‑N结（140）上形成背电极（150）。