[发明专利]1.55～1.75μm透过短波红外滤光片及制备方法

摘要

本发明涉及1.55～1.75μm通过短波红外滤光片及制备方法，属于表面技术领域。该滤光片包括硅基底、基底两侧的长、短波通膜系；长波通膜系结构为（0.5hl0.5h）^10，中心波长1250nm；短波通膜系结构为（0.5lh0.5l）^10（0.65l1.3h0.65l）^8，中心波长2030nm；h和l分别为硫化锌和氟化钇膜层；通过在真空中加热基底，用离子束轰击基底，用离子束辅助电子枪蒸发法分别在基底两侧沉积所述膜系，冷却后制得。该滤光片在1.55～1.75μm透过率高，0.2～1.45μm和1.95～3.35μm宽截止，膜层数少，可在微型基底两个表面上镀制，满足空间微型组合滤光片的工作要求。

主权项

一种1.55～1.75μm透过短波红外滤光片，其特征在于：所述滤光片包括硅基底、硅基底一侧的长波通膜系和另一侧的短波通膜系；长波通膜系包括交替叠加的硫化锌和氟化钇膜层，结构为：（0.5hl0.5h）^10，中心波长为1250nm；h为硫化锌膜层，0.5h表示硫化锌膜层厚度为0.5个基本厚度，l为氟化钇膜层，表示氟化钇膜层厚度为1个基本厚度，基本厚度为光学厚度中心波长的四分之一，10为基本膜堆（0.5hl0.5h）的周期数；短波通膜系包括交替叠加硫化锌和氟化钇膜层，结构为：（0.5lh0.5l）^10（0.65l1.3h0.65l）^8，中心波长为2030nm；h为硫化锌膜层，表示硫化锌膜层厚度为1个基本厚度，1.3h表示硫化锌膜层厚度为1.3个基本厚度，l为氟化钇膜层，0.5l表示氟化钇膜层厚度为0.5个基本厚度，0.65l表示氟化钇膜层厚度为0.65个基本厚度；基本厚度为光学厚度中心波长的四分之一，10为基本膜堆（0.5lh0.5l）的周期数，8为基本膜堆（0.65l1.3h0.65l）的周期数。