[发明专利]一种压电陶瓷驱动的二维并联微动平台

摘要

本发明公开了一种压电陶瓷驱动的二维并联微动平台，由基座、运动平台、压电陶瓷驱动器、位移放大机构及导向机构等部分组成。第一、第二压电陶瓷驱动器相互垂直地放置在基座上各自的圆柱形槽内，驱动器的输出端紧靠在位移放大机构的输入铰链上，经位移放大机构和导向机构将运动传递给运动平台。本发明采用二级放大机构和复合平行四杆导向机构，使得微动平台结构紧凑，能在实现大行程运动的同时保证高的固有频率，X轴方向和Y轴方向能够有效解耦，压电陶瓷驱动器和柔性铰链平台的组合保证了运动传递的无摩擦，无间隙、高精度、高稳定性和快速响应。运动平台在X轴、Y轴方向上均设有位移传感器，便于实现微动平台的全闭环控制。

主权项

一种压电陶瓷驱动的二维并联微动平台，其特征是，它包括基座、运动平台，基座上设有导向机构和位移放大机构，所述运动平台的四个角分别与导向机构铰接，与基座无接触；所述运动平台的Y轴、X轴方向上分别设有第一压电陶瓷驱动器和第二压电陶瓷驱动器，第一压电陶瓷驱动器和第二压电陶瓷驱动器分别垂直的放置在基座上各自的圆柱形槽内，第一压电陶瓷驱动器和第二压电陶瓷驱动器的一端分别用定位螺钉固定，另一端作为输出端分别作用在位移放大机构的输入铰链上，位移放大机构均与导向机构铰接，所述运动平台的X轴、Y轴方向上分别设有位移传感器。