[发明专利]一种用于激光等离子体极紫外光源的空腔液体锡靶发生器无效
申请号: | 201310145818.8 | 申请日: | 2013-04-25 |
公开(公告)号: | CN103257531A | 公开(公告)日: | 2013-08-21 |
发明(设计)人: | 王梦瑶;王新兵;左都罗;卢宏;陆培祥 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H05G2/00 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 曹葆青 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于激光等离子体极紫外光源的空腔液体锡靶发生器,包括高压腔体、电加热器、热电阻、振杆、气源控制器、压力变送器、喷嘴、冷却风机和冷却水套;电加热器用于使腔体内的固态锡材融化成为液态,通过两端具有压强差的空腔环形结构喷嘴射出形成空心液滴或者空心柱状液滴流。提空腔环状的喷嘴所包含的辐射所需EUV光子能量的原子数目是最多的,并且吸收效率高;气源控制器和压力变送器所构成的加压系统用来给储液容器加高压;通过将靶室内抽真空,并充入氢气或氩气,以减少对EUV的吸收和降低高温高压的等离子体对收集镜的损害。本发明喷射距离远,对激光吸收效率和EUV转换效率较高,系统稳定性好,成本低廉,更适合工业上大规模生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 激光 等离子体 紫外 光源 空腔 液体 发生器 | ||
【主权项】:
一种用于激光等离子体极紫外光源的空腔液体锡靶发生器,其特征在于,它包括高压腔体、电加热器、热电阻、振杆、气源控制器、压力变送器、喷嘴、冷却风机、冷却水套和靶室;电加热器放置于腔体内,热电阻与电加热器电信号连接;高压腔体底部设置有空腔环形结构的喷嘴,且位于与真空系统相连的靶室上方,振杆的底部位于高压腔体内,且位于喷嘴的上方;振杆的上部外套有冷却水套,冷却风机安装在振杆顶端;压力变送器与用于控制气源的气源控制器连接,压力变送器垂直安装在腔体的盖板上,且压力变送器的压力接口位于腔体内,用于为腔体提供所需的气压;气源与腔体通过气源管道连接;电加热器用于使腔体内的固态锡材融化成为液态,通过两端具有压强差的空腔环形结构的喷嘴射出形成空心液滴或者空心柱状液滴流。
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