[发明专利]用于晶圆的刷洗装置有效
| 申请号： | 201310146913.X | 申请日： | 2013-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN103230884A | 公开（公告）日： | 2013-08-07 |
| 发明（设计）人： | 路新春;裴召辉;何永勇 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成;黄德海 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于晶圆的刷洗装置。所述用于晶圆的刷洗装置包括：用于支撑晶圆的支撑件；第一毛刷和第二毛刷，所述第一毛刷和所述第二毛刷相对地且间隔开地设置以分别用于刷洗所述晶圆的两个表面；和丝杠组件，所述丝杠组件与所述第一毛刷和所述第二毛刷均相连，所述丝杠组件带动所述第一毛刷和所述第二毛刷在与所述晶圆的两个表面正交的方向上移动。根据本发明实施例的用于晶圆的刷洗装置具有刷洗效果好等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 刷洗 装置 | ||
【主权项】：
一种用于晶圆的刷洗装置，其特征在于，包括：用于支撑晶圆的支撑件；第一毛刷和第二毛刷，所述第一毛刷和所述第二毛刷相对地且间隔开地设置以分别用于刷洗所述晶圆的两个表面；和丝杠组件，所述丝杠组件与所述第一毛刷和所述第二毛刷均相连，所述丝杠组件带动所述第一毛刷和所述第二毛刷在与所述晶圆的两个表面正交的方向上移动。
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