[发明专利]托盘及等离子体加工设备在审
| 申请号： | 201310152358.1 | 申请日： | 2013-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN104124127A | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 刘利坚 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供的托盘及等离子体加工设备，用于承载被加工工件，并借助热交换气体对被加工工件的温度进行调节，而且，在托盘的上表面形成有凹部，该凹部的数量和位置与被加工工件的数量和位置一一对应，并且每个凹部和与之一一对应的被加工工件的下表面的中心区域之间形成闭合空间，并且，在凹部的底面上分布有多个进气孔，热交换气体经由进气孔流入闭合空间内。本发明提供的托盘，其不仅可以一定程度地改善被加工工件的边缘区域的温度控制效果，以提高被加工工件的中心区域与边缘区域的温度均匀性，而且还可以减少热交换气体的泄漏量。 | ||
| 搜索关键词： | 托盘 等离子体 加工 设备 | ||
【主权项】：
一种托盘，用于承载被加工工件，并借助热交换气体对被加工工件的温度进行调节，其特征在于，在所述托盘的上表面形成有凹部，所述凹部的数量和位置与所述被加工工件的数量和位置一一对应，并且每个所述凹部和与之一一对应的所述被加工工件的下表面的中心区域之间形成闭合空间，并且 在所述凹部的底面上分布有多个进气孔，所述热交换气体经由所述进气孔流入所述闭合空间内。
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