[发明专利]一种基于复合二维光子晶体的微位移传感装置无效
| 申请号： | 201310152415.6 | 申请日： | 2013-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN103278096A | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 黄昌清;冯桂兰;宋鑫;蔡青;刘梦诗 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于复合二维光子晶体的微位移传感装置，包括一个激光源、固定光子晶体模块、可移动光子晶体模块和探测器；将可移动光子晶体模块固定在待测器件上并随待测器件相对于固定光子晶体模块移动，激光源发出的光经过复合光子晶体后，被探测器接收。可移动光子晶体模块随待测器件发生位移时，光子晶体结构发生变化，透射光的光强也随之变化。探测器探测的光强与位移关系获取光强信息，进而得出可移动光子晶体模块的位移，即为待测器件的位移。该装置结构简单、精度高、动态范围大、对温度不敏感，能精确检测微纳米级别器件的微位移。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 复合 二维 光子 晶体 位移 传感 装置 | ||
【主权项】：
一种基于复合二维光子晶体的微位移传感装置，其特征在于，包括一个激光源、固定光子晶体模块、可移动光子晶体模块和探测器；固定光子晶体模块包括固定的第一基座和与第一基座垂直的第一光子晶体阵列；可移动光子晶体模块包括第二基座和与第二基座垂直的第二光子晶体阵列；第二光子晶体阵列介质柱与第一光子晶体阵列介质柱交替排列形成复合光子晶体结构，且第二光子晶体阵列可以相对于第一光子晶体阵列水平移动。
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